תכונות ביצועים ומבנה עיקריות:
1. מד צפיפות השטח והמות יכולים ליצור שליטה בלולאה סגורה.
מערכת 2.CCD עם בקרת לולאה סגורה לזיהוי מימדים.
3. הדבק סרט סיום על הזנבות.
4. תרחיץ שכבה כפול יכול להיות מצופה באותו צד של המצע.
5. עבודה משותפת עם מערכת MES וניהול שליטה בענן לציוד.

ניטור איכות ומשוב:
1. מד צפיפות שטח בקרן X/B לזיהוי מקוון.
מערכת 2.CCD לזיהוי מימדים ופגמים.
הדפסת הזרקת דיו 3.NG.
4. מדידת טמפרטורה באמצעות IR על פני האלקטרודה בתוך התנור.
5. מד הזרימה המונית עוקב באופן מקוון אחר הזרימה, הצמיגות והטמפרטורה.
6. ניטור ריכוז NMP לתנור קתודה וזיהוי לחות לתנור האנודה.